Nano Res.[合成]│氮化铌薄膜生长相图——为精准设计超导单光子探测器保驾护航

日期： 2025-06-13

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超导薄膜是决定超导器件性能的首要因素。氮化铌（NbN）超导薄膜具有高临界温度和优异的化学稳定性，是研制超导纳米线单光子探测器（SNSPD）的理想材料。迄今为止，人们对NbN薄膜的超导性、无序性和热传输特性进行了广泛的研究，极大地推动了薄膜质量及其器件应用。NbN薄膜的超导转变温度、超导电流密度、超导动态电感和正常态电阻率，以及薄膜的厚度和均匀性等，直接影响SNSPD器件的量子效率、探测速度等性能指标。磁控溅射是生长和调控高质量超导薄膜的主流技术。由于磁控溅射工艺参数较多，且各参数之间相互作用，生长的NbN薄膜通常呈现混相组成，精确调控薄膜各项性能困难。

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