来源：X-MOL
不锈钢因其耐腐蚀性和耐磨性而带来了加工挑战。传统的化学机械抛光（CMP）通常涉及使用有毒浆料，从而导致环境风险。此外，使用传统CMP的不锈钢表面粗糙度Sa通常高于0.5 nm，材料去除率（MRR）极低。为了应对这些挑战，开发了一种新的绿色 CMP 方法，该方法使用二氧化硅、镧酸、苹果酸、γ-氨基丁酸和过氧化氢。采用环保型CMP工艺后，不锈钢的表面粗糙度Sa降低至0.286 nm，MRR为82.14 nm min−1.与现有研究相比，这些结果代表了重大进步。X射线光电子能谱分析表明，过氧化氢氧化不锈钢表面，形成氧化物。然后苹果酸通过释放氢离子来溶解这些氧化物。同时，γ-氨基丁酸通过其-COOH官能团螯合Fe2+铁3+和 Cr3+离子。这种创新的绿色 CMP 工艺为实现不锈钢的精细表面粗糙度提供了全新的视角，同时增强其磨损和腐蚀辅助性。它在高性能不锈钢器件中的潜在应用前景广阔。