西安光机所等研制出新一代高性能微通道板

日期： 2021-08-19

浏览次数: 38

来源：西安光学精密机械研究所

近日，中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室副研究员朱香平课题组联合松山湖材料实验室研制出新一代高性能微通道板（Microchannel Plate，MCP）。该微通道板以多组分无铅玻璃作为基板材料，采用原子层沉积技术（Atomic Layer Deposition，ALD）制备功能层，相比与传统商业化含铅MCP，工艺过程无需氢还原，降低了传统MCP中由于铅还原层而产生气体吸附以及K40同位素β衰减等引起的噪声。新一代高性能MCP基板可以承受更高的烘烤温度，降低了MCP器件的放气量，延长器件的使用寿命。此外，新一代高性能MCP技术能够独立精细调控体电阻，可满足皮秒飞行时间测量等不同场景的应用需求。联合团队研制的ALD-MCP样品增益优于5×104(@1000V)，且体电阻可在20-200MΩ范围内精细可调。

微通道板是一种在单通道电子倍增器基础上发展起来的具有多通道连续倍增极结构的电子倍增器件，因其独特的增益、噪声、空间分辨、时间分辨特性，成为光子、电子、离子探测和图像增强/微弱光信号放大中的核心器件。科研人员利用ALD技术在微通道内壁沉积导电层和二次电子发射层功能材料，实现了结构材料和功能材料的分离，避免了传统铅玻璃氢还原工艺中材料与性能相互牵扯的矛盾，基体材料可扩展到硼硅酸盐玻璃材料、高分子材料以及陶瓷材料等。该技术采用微电子工艺，工艺重复性高，产品性能稳定可靠，且可沉积更高二次电子发射系数材料，不含RoHS限制物质，具有噪声低、增益高、寿命长、可实现更大面阵探测器件等优点。

美国国家航空航天局（NASA）天体物理专家Anton Tremsin认为，ALD技术带来大面积、高可靠性、低成本、高增益、低噪声的高性能MCP及光电探测器新发展，开辟许多新应用，包括性价比更高的正电子发射断层扫描(PET)医疗成像相机、安检、高能粒子、天体物理、核物理等领域的粒子探测器。此外，在激光雷达、微光夜视图像增强器、SEM等分析仪器以及时间分辨荧光/拉曼光谱仪、门控选通激光3D成像等领域均具有广泛应用前景。

研究工作得到科技部重点研发计划“高品质特种光电功能玻璃及制品开发”项目子课题“光纤制品及产业化关键制备技术”以及松山湖材料实验室专项等项目的支持。

上一篇：硫酸盐对热液体系中稀土元素迁移富集的机制下一篇：包头稀土高新区涉及稀土永磁等领域的7个项目获批

Hot News / 相关推荐

南京大学团队：“燃气蒸汽联合循环机组全工况超低排放催化技术研究与应用”项目取得突破

2025 - 10 - 29

点击次数: 21

来源：中国稀土网近日，中国稀土学会理事、催化专业委员会委员、南京大学董林教授团队联合大唐南京热电有限责任公司攻坚的“燃气蒸汽联合循环机组全工况超低排放催化技术研究与应用”科技项目取得圆满成功。该项目成功破解了燃机在启停、低负荷等复杂工况下氮氧化物排放控制的行业瓶颈，标志着我国在燃气发电环保领域取得了新进展。面对机组启停及低负荷阶段出现的剧烈温度波动、高空速、高湿度等极端复杂工况，董林教授团队充分发...

白云鄂博矿产资源开发利用实现三项技术突破

2025 - 10 - 29

点击次数: 22

来源：中国稀土网近日，包钢集团矿山研究院科研团队传来捷报，依托包钢集团重点科研项目与深地科技国家重大专项，针对白云鄂博复杂共伴生矿开发难题，科研团队在铌资源精细化利用领域取得“快速检测、精准定位、质量预报”三大技术突破，对增强国家战略资源安全保障能力具有积极意义。快速检测“CT扫描仪”为破解白云鄂博复杂共伴生矿在采矿作业过程中存在的传统理化分析时间长、指导现场生产不及时等问题，科研团队成立多元素快...

巴西坎波格兰德稀土矿等项目进展

2025 - 10 - 28

点击次数: 32

来源：中国稀土网 1、埃奎诺克斯资源公司（Equinox Resources）在巴西的坎波格兰德项目（Campo Grande）钻探证实一个浅部稀土成矿系统。中段钻探在1米深处见矿14米，总稀土氧化物（TREO）品位0.4022%，磁体稀土氧化物（MREO）占比为26%。北部钻探在45米深处见矿15米，TREO品位0.3268%，MREO占比21%。该矿临近巴西稀土公司（Brazilian Ra...

内蒙古自治区工信厅召开三季度全区重点工业行业经济运行座谈会

2025 - 10 - 27

点击次数: 52

来源：中国稀土网10月22日，内蒙古自治区工信厅副厅长杨茂盛主持召开三季度全区重点工业行业经济运行座谈会，围绕当前各重点行业发展形势、前三季度运行情况、存在的问题及对全年走势的判断展开交流，研究推动行业高质量发展相关工作。会上，自治区钢铁有色金属工业协会、有色金属产业促进会、稀土行业协会、水泥协会、石油和化学工业协会、氟硅产业促进会、氯碱行业协会、现代煤化工产业链促进会、光伏装备产业促进会、低空经...